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資訊頻道信息來源：中國儀表網
我國研發全球最薄氣壓計，基于業界最先進的單芯片集成MEMS技術，使其成為全球唯一一款針對消費電子的CMOS-MEMS單芯片集成氣壓計。
光學MEMS技術自上世紀80年代左右起步以來，基于MEMS技術而研制的一大批光學儀器，為光學產業及儀器儀表產業發展帶來了新的發展動力和機遇。
近日又有一款基于MEMS技術的全球領先產業于國內誕生，中國科學院西安光學精密機械研究所與其參股公司麗恒光微電子科技有限公司共同宣布，聯合推出全球最薄氣壓計PS2606。
氣壓計PS2606是全球唯一一款針對消費電子的CMOS-MEMS單芯片集成氣壓計，整個傳感器厚度僅為0.65毫米。產品以業界最先進的單芯片集成MEMS技術，具有測量精確度高、系統穩定性好、抗干擾能力強、低功耗、體積小等優點。該氣壓計還擁有完全自主知識產權，是國產傳感器的杰出代表。其中CMOS-MEMS單芯片集成傳感器技術-CeMEMS，是麗恒光微獨創的，包括已授權和獲準申請專利超過160件。
PS2606主要參數：
（1）氣壓量程：30~110kPa；
（2）封裝形式：8-pinLGA封裝，封裝尺寸2.0x2.5x0.65mm；
（3）相對精度： /-1m（95~105kPa，25℃）；
（4）絕對精度： /-0.1kPa（95~105kPa，0~40℃）；
（5）電源電壓：VDD1.71~3.6V；VDDIO1.2~3.6V；
（6）輸出接口：I2C，SPI；
（7）功耗：2.7μA@1Hz采樣率；
（8）工作溫度：-40~85℃。
麗恒光微總經理、中科院西安光機所微納研究中心副主任毛劍宏表示：“經過多年的研發和經營，麗恒光微利用上下游產業優勢，成功串聯起從MEMS傳感器設計到MEMS傳感芯片制造以及傳感器封裝測試等一條完整的MEMS傳感器產品供應鏈。氣壓計PS2606是麗恒光微推出的第二款系列產品，未來將推出更多新產品滿足市場需求。”
麗恒光微曾在早前已經研發了一代PS1606，是一款高性能，低成本的電容式絕對壓力傳感器，是30~110千帕數字輸出電容式CMOS-MEMS高精度壓力傳感器，為PS2606氣壓計（高度計）做技術支持。
據悉，PS2606于2014年底開始樣本出貨及客戶推廣，預計2015年第一季度可投入規模量產。
北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號